Fókusfókushausinn notar vélrænan búnað sem burðarvettvang og færist fram og til baka í gegnum vélræna tækið til að ná fram suðu á suðu með mismunandi feril. Nákvæmni suðu fer eftir nákvæmni stýribúnaðarins, þannig að það eru vandamál eins og lítil nákvæmni, hægur svarhraði og mikil tregða. Galvanometer skannakerfið notar mótor til að sveigja linsuna. Mótorinn er knúinn áfram af ákveðnum straumi og hefur þá kosti mikillar nákvæmni, lítillar tregðu og hraðvirkrar svörunar. Þegar ljósgeislinn er geislaður á galvanometerlinsuna breytir beyging galvanometersins endurkastshorni leysigeislans. Þess vegna getur leysigeislinn skannað hvaða feril sem er í skönnunarsviðinu í gegnum galvanometerkerfið. Lóðrétta höfuðið sem notað er í vélfærasuðukerfinu er forrit sem byggir á þessari meginreglu.
Helstu þættir ígalvanometer skannakerfieru geislaútþenslukollimator, fókuslinsa, XY tveggja ása skannagalvanometer, stjórnborð og hýsiltölvuhugbúnaðarkerfi. Skanna galvanometer vísar aðallega til tveggja XY galvanometer skönnun höfuð, sem eru knúin áfram af háhraða fram og aftur servó mótorum. Tvíása servókerfið knýr XY tvíása skönnunargalvanometer til að sveigjast eftir X-ásnum og Y-ásnum í sömu röð með því að senda skipunarmerki til X- og Y-ás servómótora. Á þennan hátt, með samsettri hreyfingu XY tveggja ása spegillinsunnar, getur stjórnkerfið umbreytt merkinu í gegnum galvanometerborðið í samræmi við sniðmát forstilltrar grafíkar hýsingartölvuhugbúnaðarins og stillta slóðarhaminn og fljótt hreyft á plani vinnustykkisins til að mynda skönnunarferil.
、
Samkvæmt staðsetningarsambandi milli fókuslinsunnar og leysigalvanometersins er hægt að skipta skönnunarstillingu galvanometersins í fókusskönnun að framan (vinstri mynd) og afturfókusskönnun (hægri mynd). Vegna þess að ljósleiðarmunur er til staðar þegar leysigeislinn sveigir í mismunandi stöður (geislaflutningsfjarlægðin er mismunandi), er brenniplan leysir í fyrra fókusskönnunarferli hálfkúlulaga boginn yfirborð, eins og sýnt er á vinstri myndinni. Skannaaðferðin með bakfókus er sýnd á hægri myndinni, þar sem linsan er flatsviðslinsa. Flatsviðslinsan hefur sérstaka sjónhönnun.
Með því að innleiða sjónleiðréttingu er hægt að stilla hálfkúlulaga brenniplan leysigeislans að plani. Skönnun með bakfókus er aðallega hentugur fyrir forrit með miklar kröfur um vinnslunákvæmni og lítið vinnslusvið, svo sem leysimerkingu, leysir örbyggingarsuðu osfrv. Eftir því sem skönnunarsvæðið stækkar eykst ljósop linsunnar einnig. Vegna tæknilegra og efnislegra takmarkana er verð á flensum með stórum ljósopi mjög dýrt og þessi lausn er ekki samþykkt. Samsetning galvanometerskönnunarkerfisins fyrir framan hlutlinsuna og sexása vélmenni er raunhæf lausn sem getur dregið úr ósjálfstæði á galvanometerbúnaðinum og getur haft töluverða nákvæmni kerfisins og góða samhæfni. Þessi lausn hefur verið samþykkt af flestum samþættingum, sem oft er kölluð fljúgandi suðu. Suða á einingartenginu, þar með talið hreinsun á stönginni, hefur fljúgandi forrit sem geta aukið vinnslusniðið á sveigjanlegan og skilvirkan hátt.
Hvort sem það er skönnun með fremri fókus eða skönnun með fókus að aftan, er ekki hægt að stjórna fókus leysigeislans fyrir kraftmikla fókus. Fyrir framfókusskönnunarstillingu, þegar vinnustykkið sem á að vinna er lítið, hefur fókuslinsan ákveðið brennivíddarsvið, svo hún getur framkvæmt fókusskönnun með litlu sniði. Hins vegar, þegar flugvélin sem á að skanna er stór, verða punktarnir nálægt jaðrinum úr fókus og ekki er hægt að einbeita sér að yfirborði vinnustykkisins sem á að vinna vegna þess að það fer yfir efri og neðri mörk brennivíddar leysisins. Þess vegna, þegar krafist er að leysigeislinn sé vel fókusaður á hvaða stað sem er á skönnunarplaninu og sjónsviðið er stórt, getur notkun linsu með fastri brennivídd ekki uppfyllt skönnunarkröfur.
Kvika fókuskerfið er sjónkerfi þar sem hægt er að breyta brennivíddinni eftir þörfum. Þess vegna, með því að nota kraftmikla fókuslinsu til að jafna upp ljósleiðarmuninn, færist íhvolfa linsan (geislaútvíkkarinn) línulega meðfram sjónásnum til að stjórna fókusstöðunni, þannig að ná fram kraftmikilli uppbót á sjónleiðamun yfirborðsins sem á að vinna úr. á mismunandi stöðum. Í samanburði við 2D galvanometer, bætir 3D galvanometer samsetningin aðallega við „Z-ás sjónkerfi“ sem gerir 3D galvanometernum kleift að breyta brennivíddinni á frjálsan hátt meðan á suðuferlinu stendur og framkvæma rýmissveifla yfirborðssuðu, án þess að þurfa að stilla suðuna. fókusstöðu með því að breyta hæð burðarbúnaðar eins og vélar eða vélmenni eins og 2D galvanometer.
Kraftmikla fókuskerfið getur breytt fókusmagninu, breytt blettastærðinni, gert sér grein fyrir Z-ás fókusstillingu og þrívíddarvinnslu.
Vinnufjarlægð er skilgreind sem fjarlægðin frá fremstu vélrænni brún linsunnar að brenniplani eða skannaplani hlutlægsins. Gættu þess að rugla þessu ekki saman við áhrifaríka brennivídd (EFL) markmiðsins. Þetta er mælt frá aðalplani, tilgátu plani þar sem gert er ráð fyrir að allt linsukerfið brotni, að brenniplani ljóskerfisins.
Pósttími: 04-04-2024
